型号 WUD-20, WUD-25, WUD-26應用

半導體、平闆顯示器和光伏行業

用于為半導體生産系統供應超純氣體

型号 WUD-20, WUD-25, WUD-26功能特性

高精度壓力測量0.15 % RSS

優良的長期穩定性

信号降噪和屏蔽

真空基準壓力測量

主動溫度補償

描述

可靠

WUD-2x系列高純度傳感器将先進的傳感器理念與模拟輸出信号相結合，能夠為當前市場需求提供安全、精确的壓力測量。

基于真空基準的壓力測量技術，加上帶幹擾屏蔽及噪音消除的電子測量技術，确保了高精度壓力測量以及優異的長期穩定性。

主動溫度補償可降低溫度變化對傳感器的影響，即使在溫度變化很大的應用中仍然能夠安全使用，如氣體膨脹時的焦耳湯姆遜效應。

WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器 采用特别設計，可承受安裝帶來的扭曲應力。特殊的薄膜設計可消除過程連接或焊接接縫處的負載造成的傳感器失效風險。

多用途

WUD-2x可輕松安裝于“on-tool”配氣系統中。明亮的LED顯示屏可旋轉，因此可從任意位置輕松查看讀數。

配備2個可編程開關輸出，可針對具體應用進行監測及控制。

結構緊湊

WUD-2x是市面上緊湊的UHP傳感器，夠用于安裝空間狹小的場合，甚至可輕松對現有裝置進行改裝。